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リソグラフィーについて語りましょう

1 :1:03/11/21 04:18
化学板に「学生禁止!電子材料関係最強化学メーカーは?」というスレがあります。
http://science.2ch.net/test/read.cgi/bake/992368688/l50

ここで今、フォトレジストの話で盛り上がっていますが、スレタイとはちょっと別の方向に話が流れています。
そこで、ここに新しいスレを立てさせてもらいました。
材料の話が中心だったんですが、デバイスや光学系の話も議論されています。(結構ハイレベルだと思います)
そんなわけで材料屋さん、デバイス屋さん、光学系屋さん、装置メーカーさんなどのリソグラフィー技術に携わる方の参加をお待ちしております。
それぞれの視点の議論や質問で盛り上げましょう。

83 :79:05/01/30 23:15:11
>81
そうなりますか。
蒸着物の回りこみがちょっと気になるんだけど、その方向で今動いてます。
レスありがとうございます。

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