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リソグラフィーについて語りましょう

30 :名も無きマテリアルさん:03/11/28 04:02
ついこないだ(一年前?)まで、位相シフトマスクを使って波長の半分までしか線幅は無理という話だったのに。
技術の進歩は早いですね・・

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