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リソグラフィーについて語りましょう

14 :ある材料屋:03/11/21 22:03
>>1さん コピペお疲れ様です。

露光機屋さんが覗いたら聞きたいのですが、

液浸(Immersion)露光は結局いけそうなのでしょうか?

ASMLの先日の発表では、TARCを使えば、既存レジストを
そのまま使えるらしいですが。。。そうだと、我々としては楽です。


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