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CMP加工について

1 :名無しさん@3周年:2005/04/21(木) 21:21:03 ID:qP8OP8Vd
CMP加工ってなんなんすか?誰か教えて!

2 :名無しさん@3周年:2005/04/21(木) 21:28:17 ID:qP8OP8Vd
Chemical Mechanical Polishing (化学的機械研磨)の方です。誰か詳しく教えて!

3 :名無しさん@3周年:2005/04/23(土) 19:49:57 ID:WC+hMaw0
だれかー!


4 :名無しさん@3周年:2005/04/23(土) 20:56:32 ID:lOJY7vYF
4国

5 :名無しさん@3周年:2005/04/24(日) 01:11:01 ID:mRkThgKy

ググったら出てくるよ。何を詳しく知りたいんだ?

6 :名無しさん@3周年:2005/04/24(日) 12:24:35 ID:lOTFkKrx
Chemical Mechanical Polishing


7 :Steve:2005/05/08(日) 10:41:58 ID:3af6LEYv
酸化膜のCMPが一般的ですが、スラリーという液(コロイダルシリカ)をかけながら、研磨パッドというウレタンのシートに
ウエハのデバイス面を機械で押し付けて回転させます。概略はこんなものですが、
ウエハの面内のグローバルな平坦化が達成されます。知りたいのは
CMP装置の方でしょうか、それとも半導体のデバイス技術の方でしょうか?

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