5ちゃんねる ★スマホ版★ ■掲示板に戻る■ 全部 1- 最新50  

■ このスレッドは過去ログ倉庫に格納されています

スパッタについて

1 :只今卒論真っ最中:04/12/14 01:27:54 ID:ImhE/1Ht
すごく初歩的な質問なんですが,スパッタでArガスを使うのは何故?
他のガスを使ったときはどんな影響がでるんでしょか。

2 :774ワット発電中さん:04/12/14 01:37:09 ID:9vTB2neX
>>1
いろんなガス入れて実験してみれ。
装置がパーになると思うけどな(w

3 :774ワット発電中さん:04/12/14 01:41:26 ID:rtr9i/Mh
アルゴンじゃなくてもものによっては窒素でもいけるものもあるけど。


4 :只今卒論真っ最中:04/12/14 01:54:11 ID:ImhE/1Ht
希ガスならなんでもOKってことでしょか?

5 :774ワット発電中さん:04/12/14 01:55:00 ID:+m5HLGpz
>>1
水素と酸素を混合してでやってみ

6 :774ワット発電中さん:04/12/14 02:04:36 ID:FD7PX3Fi
アパレル関係は板違いだろ

7 :774ワット発電中さん:04/12/14 02:07:46 ID:rRoiddiE
>希ガスならなんでも
希ガスでもクリプトンとかゼノンは高価な希ガスる
ラドンでやってみるかい?

8 :774ワット発電中さん:04/12/14 13:51:54 ID:hhDahJCT
スパッタは機械板では?と思ったら
溶接のアレではなく、真空蒸着の方ですたか。


9 :774ワット発電中さん:04/12/14 16:51:31 ID:aGltbdML
なんだよ、スパッツの親戚ではなかったんかい

10 :774ワット発電中さん:04/12/14 23:10:21 ID:+l2Nk4MS
通りすがりのものですが、電電板の皆様はとても優しい希ガス。
他の板なら「糞スレ」「板違い」「単発質問スレ立てるな」で
煽りAA貼られまくりのような希ガス。

>>1
・Arは比較的安定にプラズマを立てやすい希ガス。
・Arは大気中に大量に存在し、安価である希ガス。(液化窒素や液化酸素の副生成物)
・反応性のガスを使うと化合物が成膜される場合がある希ガス。(反応性スパッタ)

スパッタではスパッタガスはターゲットを削った後、反跳して、一部は成長中の
膜を叩くことがある希ガス。スパッタガスの種類を変えると分子の重さ=運動量が
変わるから膜のモフォロジが変わることがある希ガス。

関係無いけど、希ガススレ@化学板
http://science3.2ch.net/test/read.cgi/bake/1101812412/l50

11 :774ワット発電中さん:04/12/15 01:10:06 ID:fIpuXHVg
スパタリング現象―基礎と薄膜・コーティング技術への応用
金原 粲
にいろいろなガスに対するスパッターイールドの実験結果が
でています。原子番号順に並べると希ガスで極大になります。
この本はもう持っていないので記憶だけになりますが、スパッタは
運動量の移動にともない原子を飛び出させるので、質量の思い
ガスのほうがイールドが高かったはずです。
なっるべく重く存在量の多いアルゴンを使うことが一般的になります。
論文を調べると膜のモフォロジを帰るためにクリプトンをもちいた
スパッタといのもあるはずです。

不活性でないガスを使うと反応性スパッタができます。
窒化物がや酸化物のコーティングが一般的でしょうか。

スパッタをやるなら、上記の本くらい読みなさい。
それとThornton(綴りに自信がないが)の論文を探してきて
各ゾーンのモフォロジーがどのような条件のときにできるか
くらいは最低知っておくこと。

12 :774ワット発電中さん:05/02/04 19:23:30 ID:jpx5pQF1
ん〜。たしかにそれもあるけど、一番は安いってこと、これにつきる。
他の希ガスを使ったスパッタ膜の論文も発表されているけど、まだ
系統立てて研究はされていないね。作る膜によってはスパッタ原子が
重い方が良かったりするっていう論文は読んだことがある。

13 :774ワット発電中さん:2005/05/16(月) 01:55:00 ID:rJfat5NC
スパルタ式ってのはそういうことだったのですか・・・・

14 :774ワット発電中さん:2005/06/22(水) 16:51:45 ID:7Lqck829
 

15 :774ワット発電中さん:2005/06/28(火) 21:49:36 ID:ccPiCxzv
イオンスパッタリングあげ

4 KB
■ このスレッドは過去ログ倉庫に格納されています

★スマホ版★ 掲示板に戻る 全部 前100 次100 最新50

read.cgi ver 05.04.00 2017/10/04 Walang Kapalit ★
FOX ★ DSO(Dynamic Shared Object)